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產(chǎn)品中心

Product Center

離子濺射儀

產(chǎn)品簡介

KT-Z1650CVD是一款小型臺式蒸發(fā)功率可控蒸發(fā)鍍膜儀離子濺射儀,儀器雖小功能齊全,配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉(zhuǎn),樣品高度調(diào)節(jié),及電動擋板功能。通過定時調(diào)節(jié)預熱功率及蒸發(fā)功率,可對大部分金屬進行均勻蒸發(fā)沉積,真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染,樣品臺可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜和有機物薄膜。

產(chǎn)品型號:
更新時間:2024-03-27
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:2031
詳細介紹在線留言
品牌鄭科探價格區(qū)間面議
產(chǎn)地類別國產(chǎn)應用領(lǐng)域電子

  KT-Z1650CVD是一款小型臺式蒸發(fā)功率可控蒸發(fā)鍍膜儀離子濺射儀,儀器雖小功能齊全,配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉(zhuǎn),樣品高度調(diào)節(jié),及電動擋板功能。通過定時調(diào)節(jié)預熱功率及蒸發(fā)功率,可對大部分金屬進行均勻蒸發(fā)沉積,真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染,樣品臺可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜和有機物薄膜。離子濺射儀

參數(shù)

設備名稱

小型濺射儀

小型蒸鍍儀

控制方式

7寸人機界面 手動 自動模式切換控制

7寸人機界面 手動 自動模式切換控制

工作電源

直流濺射電源

直流熱蒸發(fā)電源

鍍膜功能

0-9995段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

0-9995段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

功率

1000W

1500W

輸出電壓電流

電壓≤1000V  電流≤1A

電壓≤12V  電流≤100A

真空

機械泵 ≤5Pa5分鐘)   分子泵≤5*10^-3Pa

腔體真空

30Pa

擋板類型

電控

真空腔室

石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm

石英腔體φ160mm x 160mm

樣品臺

可旋轉(zhuǎn)φ62  (可安裝φ50基底)

樣品臺轉(zhuǎn)速

8轉(zhuǎn)/分鐘

樣品濺射源調(diào)節(jié)距離

40-105mm

70-140mm

蒸發(fā)坩堝容積


3ML

蒸發(fā)溫度調(diào)節(jié)


1600

真空測量

皮拉尼真空計(已安裝 測量范圍10E5Pa  1E-1Pa

預留真空接口

KF25抽氣口    KF16放氣口   6mm卡套進氣口

可選配擴展

1 膜厚在線測試    2 分子泵



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